| 学号 | BA20168078 | ||
| 姓名 | 周佐达 | ||
| 所在院系 | 168合肥物质科学研究院 | ||
| 申请专业 | 精密仪器及机械 | ||
| 学位论文自我评价 | 论文题目 | 点扫描多模式无图形晶圆缺陷检测技术与信号处理方法研究 | |
主要创新点 |
|||
| 1. | |||
| 2. | |||
| 3. | |||
有待改进之处 |
|||
| 答辩结果 | 通过：5 建议修改： 不通过：0 | ||
| 发表论文情况： | |||
| 发表论文(1) | A novel wafer defocus measurement method for spot-scanning imaging system using laser triangulation | ||
| 论文(1)发表期刊 | MEASUREMENT SCIENCE and TECHNOLOGY(SCI三区, 2.398) | 位于科大期刊目录第0页第0条 | |
| 论文(1)发表刊次 | 36 (2025) 015015 (9pp) | 论文(1)作者排名：本人第一 | |
| 发表论文(2) | Characterization of Multimodal Spot Scanning Imaging System for Wafer Defect Inspection | ||
| 论文(2)发表期刊 | IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING(SCI三区, 2.796) | 位于科大期刊目录第0页第0条 | |
| 论文(2)发表刊次 | 已录用 | 论文(2)作者排名：本人第一 | |
| 发表论文(3) | Multi-detector simultaneous sampling design in the spot-scanning defects detection system | ||
| 论文(3)发表期刊 | Journal of Instrumentation(SCI四区, 1.121) | 位于科大期刊目录第0页第0条 | |
| 论文(3)发表刊次 | 2023 JINST 18 P11022 | 论文(3)作者排名：本人第一 | |
| 发表论文(4) | Spot-scanning laser scattering system for defects detection of wafer surface | ||
| 论文(4)发表期刊 | Thirteenth International Conference on Information Optics and Photonics (CIOP 2022) | 位于科大期刊目录第0页第0条 | |
| 论文(4)发表刊次 | 7-10 August, 2022, EI: 20230413445435 | 论文(4)作者排名：本人第一 | |
| 发表论文(5) | Overclocking Readout Design of Focusing and Leveling Linear Array CCD Imaging System | ||
| 论文(5)发表期刊 | Acta Optica Sinica | 位于科大期刊目录第0页第0条 | |
| 论文(5)发表刊次 | 2021年第18期, EI: 20214611178905 | 论文(5)作者排名：本人第一 | |